RQ-HFM一款可以高精度测量空气、氧气和其它非腐蚀性气体流量的热膜式流量传感器，敏感探头通过MEMS工艺制造而成，通过热式原理进行流量测量。该传感器特殊的流道设计使得传感器流过流体的压降非常低，这使得它非常适合医疗通气和呼吸应用。该传感器工作电压为5V，具有模拟接口，信号经过内部处理和温度补偿。

特性： ·量程：-24slm~240slm
·紧凑型设计
·直接气体温度测量
·快速的响应时间
·具备温度补偿