RQ-HFM一款可以高精度测量空气、氧气和其它非腐蚀性气体流量的热膜式流量传感器，敏感探头通过MEMS工艺制造而成，通过热式原理进行流量测量。该传感器特殊的流道设计使得传感器流过流体的压降非常低，这使得它非常适合医疗通气和呼吸应用。该传感器工作电压为5V，具有模拟接口，信号经过内部处理和温度补偿。

特性： ·量程：-24slm~240slm
·紧凑型设计
·直接气体温度测量
·快速的响应时间
·具备温度补偿

RQS-HLS01/02是基于MEMS技术的产品，具有无流体阻碍、无压降、无需维护等优点。特殊设计的流道、高性能MEMS流量芯片、高精度数字处理电路保证流量信号实时有效采集。流量开关传感器可应用于工业自动化生产过程中微小器件吸附确认，比压力传感器更能可靠地确认吸附。传感器所用热膜型流量芯片是国产自研设计。芯片基于世界领先的精微加工工艺制作而成，具有优异的精确度和一致性。传感器通过SH1.0_WT_3P端子，对外提供模拟输出。M5*0.8接管口径，使用方便。

RQS-HFC-TP01是基于MEMS技术的流量测量产品，利用热力学原理对流道中的气体介质进行流量检测。特殊设计的流道、高性能MEMS流量芯片、高精度数字处理电路保证流量信号实时有效精确采集；每一只传感器都具有专门的温度补偿校准；内部智能算法处理，精度高；数字输出，使用方便。该传感器具有良好的精度、低功耗、快速响应，非常适合用于家庭燃气检测。