RQS-HLS01/02是基于MEMS技术的产品，具有无流体阻碍、无压降、无需维护等优点。特殊设计的流道、高性能MEMS流量芯片、高精度数字处理电路保证流量信号实时有效采集。流量开关传感器可应用于工业自动化生产过程中微小器件吸附确认，比压力传感器更能可靠地确认吸附。传感器所用热膜型流量芯片是国产自研设计。芯片基于世界领先的精微加工工艺制作而成，具有优异的精确度和一致性。传感器通过SH1.0_WT_3P端子，对外提供模拟输出。M5*0.8接管口径，使用方便。